旋轉(zhuǎn)式等離子改性設(shè)備
旋轉(zhuǎn)式等離子改性設(shè)備既具有粉末原子層沉積的功能,也有等離子粉體改性功能。二功能可單獨(dú)選用,也可結(jié)合使用。

產(chǎn)品原理
在粉體腔室內(nèi)引入低壓等離子放電技術(shù),將腔室內(nèi)的氣體電離,形成活性基團(tuán)粒子。粒子(電子或正負(fù)離子)與粉體表面碰撞,提升粉體表面缺陷濃度,達(dá)到刻蝕、摻雜、接枝、清洗等效果 等離子與ALD結(jié)合,即等離子增強(qiáng)原子層沉積,是一種能量增強(qiáng)的原子層沉積方式,采用高活性的等離子體作為前驅(qū)體,一般是利用等離子體替代普通的反應(yīng)劑,與前驅(qū)體A反應(yīng)
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
適用領(lǐng)域
適用材料

粉體材料


